隨州市市場監(jiān)管局助力兩項國家標準編制填補行業(yè)空白

荊楚網(wǎng)客戶端—荊楚網(wǎng)消息（通訊員 胡春雷、朱荔）8月6日，筆者從隨州市市場監(jiān)管局獲悉，國家市場監(jiān)管總局發(fā)布了2020年第17號中華人民共和國國家標準公告，由湖北晶星科技股份有限公司歷時四年主導(dǎo)起草編制的《電子工業(yè)用二氯硅烷》（GB/T38866-2020）、《電子工業(yè)用四氯化硅》(GB/T38867-2020)兩項國家標準正式發(fā)布，并將于2021年2月1日實施，這兩項標準由隨州市市場監(jiān)管局助力起草。

據(jù)介紹，該兩項國家標準的發(fā)布實施，填補了我國兩類電子工業(yè)用氣體的標準空白，將為提高我國自主生產(chǎn)電子工業(yè)用氣體的能力，促進先進半導(dǎo)體材料制造業(yè)的迅速發(fā)展，提供技術(shù)依據(jù)和可靠保障，對有效提高企業(yè)標準話語權(quán)和知名度、提升企業(yè)核心競爭力也具有十分重要的意義。

高純二氯硅烷主要用于電子半導(dǎo)體、集成電路工業(yè)中硅外延及集成電路上氮化硅掩蔽膜和多晶硅膜等含硅薄膜的制備，是一種性能極佳的外延淀積材料；高純四氯化硅是光纖、光電傳感器生產(chǎn)的主原料，也用于集成電路的刻蝕工藝以及存儲器的薄膜工藝。我國從2015年已經(jīng)打破技術(shù)壁壘，實現(xiàn)了這兩種產(chǎn)品的的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，產(chǎn)品純度可以達到99.99%以上。

但由于受標準缺乏等因素的制約，國內(nèi)產(chǎn)能較小，主要依賴進口，無法滿足集成電路產(chǎn)業(yè)市場龐大的需求。為了適應(yīng)先進半導(dǎo)體材料的迅速發(fā)展，提高我國自主生產(chǎn)電子工業(yè)用氣體的能力，湖北晶星科技股份有限公司2016年向國家標準化管理委員會提出申請并立項，由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員氣體分會組織成立了標準起草小組，由湖北晶星科技股份有限公司主導(dǎo)起草編制上述兩項國家標準。

隨州市市場監(jiān)督管理局對兩項標準的起草編制高度重視，分管領(lǐng)導(dǎo)親自帶隊赴北京、上海等地協(xié)調(diào)立項，參加標準審查討論，尋求省標準化技術(shù)機構(gòu)的技術(shù)支持，全程跟蹤服務(wù)。起草小組聯(lián)合湖北省標準化與質(zhì)量研究院、西南化工研究設(shè)計院有限公司、隨州市信息與標準化所等科研單位和企業(yè)，對國際、國內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，將國外產(chǎn)品的企業(yè)標準和國內(nèi)實際生產(chǎn)情況相結(jié)合編制標準草擬稿，先后于昆明、上海、武漢多次召開標準討論會，廣泛征求意見并反復(fù)開展驗證試驗，最終通過全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員氣體分會的標準審查，認為該兩項標準達到了國際同類產(chǎn)品先進水平。

隨州市市場監(jiān)管部門表示，今后將堅決落實省、市關(guān)于加大力度優(yōu)化營商環(huán)境、以“店小二”精神支持服務(wù)市場主體發(fā)展的各項舉措，忠實履行對市場主體的服務(wù)承諾，推動隨州企業(yè)有更多的標準話語權(quán)和競爭力，為隨州高質(zhì)量發(fā)展貢獻力量。